Micro and nanophotonics Instrumentation

F. Anstotz, D. Montaner, P. Montgomery, F. Salzenstein, N. Javahiraly, R. Kiefer, S. Lecler, P. Pfeiffer, B. Serio, P. Twardowski

This theme concerns work that contributes to the miniaturisation of photonic devices so as to be able to insert them into measurement microsystems or laser surface microstructuring processes. It concerns in particular :

• the design and fabrication of subwavelength diffractive optical elements
• the detection of nanoparticles using photonic jets
• the development of microstructured fibre optic sensors based on photonic crystals or on the Sagnac effect
• the measurement of parameters such as distance with high resolution
• micro- and nanothermography

interferometric microscopy

Scanning interference microscopy is a powerful technique based on far field imaging and interferometry that can be used for extracting information on micro- and nanostructures embedded in complex materials, devices and microsystems. Two topics are covered: 4D microscopy and techniques for complex layer analysis.

La microscopie 4D (3D + temps) permet la mesure 3D en temps réel de surfaces qui évoluent avec le temps, comme celles des matières molles, des microsystèmes (MEMS) et des réactions chimiques.

Le deuxième thème relève le défi d’utiliser l’interférométrie pour mesurer les couches épaisses, semi-transparentes ou translucides des matériaux comme l’hydroxyapatite (biomatériaux), les colloïdes et les polymères. Ces techniques sont également utiles pour la caractérisation des composants photoniques nano-structurés développés dans le thème Modélisation et simulation photonique.

• Principle

• 4D Microscopy

• Complex layers